退火温度检测与监控是确保金属材料加工质量的关键环节。退火炉通常分为多个温区，每个温区设有独立的加热器和温度测量点，通过热电偶、红外线测温等多种方法进行温度检测。热电偶法利用金属导线在热场内产生的热电动势来测量温度，具有检测精度高、响应快的特点，但易受外界干扰。红外线测温法则根据被测物体发射的红外辐射功率来测定表面温度，适用于快速测量，但测量精度相对较低。
为了确保退火工艺的稳定性和产品质量，监测系统发挥着至关重要的作用。自动化控制系统通过传感器采集温度数据，利用控制器进行分析，并根据预设算法生成控制信号，调整执行器以维持炉内温度的稳定。此外，系统还可以记录退火过程中的温度曲线、时间和冷却速度等数据，为后续分析和优化提供依据。
在高温退火工艺中，如SiC等第三代半导体的退火，红外测温方式成为最佳选择，因其能够应对超过热电偶测温范围的高温环境。通过综合运用多种检测与监控方法，可以实现对退火温度的精确控制，从而改善材料的性能，提高生产效率。